Bosch startet Produktion des kleinsten MEMS-Chips
Die Firma Bosch Sensortech hat nach Angaben der Bosch-Tochter Akustica das bisher kleinste MEMS-Mikrofon produziert – es ist nur 700 Quadratmikrometer groß (MEMS: Microelectromechanical Systems). Auf dem CMOS-Chip sind die Mikrofon-Membran, …
Die Firma Bosch Sensortech hat nach Angaben der Bosch-Tochter Akustica das bisher kleinste MEMS-Mikrofon produziert – es ist nur 700 Quadratmikrometer groß (MEMS: Microelectromechanical Systems). Auf dem CMOS-Chip sind die Mikrofon-Membran, …