EUV-Lithographie steht mal wieder kurz bevor
EUV-Belichtung soll Chipstrukturen von 7 nm und kleiner ermöglichen, Stepper wie der NXE:3300B sind gerade in der Erprobungsphase. (Bild: ASML) Die Belichtung von Chips mit Licht aus dem extremen UV-Bereich soll noch feinere …
EUV-Belichtung soll Chipstrukturen von 7 nm und kleiner ermöglichen, Stepper wie der NXE:3300B sind gerade in der Erprobungsphase. (Bild: ASML) Die Belichtung von Chips mit Licht aus dem extremen UV-Bereich soll noch feinere …